사업분야
신소재사업부
삼불화질소(NF3)
색깔과 냄새가 없는 비활성 기체이며 강한 독성을 가지고 있다. 반도체 및 디스플레이용으로 사용되는 고순도 가스이다.
Tube Trailer, Bottle(47L)
물질명 | 삼불화질소 (Nitrogen triflouride) | 독성물질등록번호 | QX1925000 |
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분자식 | NF3 | 유럽연합 번호 | 232-007-1 |
분자량 | 71 | CCRIS 번호 | 해당자료 없음 |
일반명 | 삼불화질소 (Nitrogen triflouride) | 유전독성 번호 | 해당자료 없음 |
CAS No. | 7783-53-2 | 발암성 번호 | 해당자료 없음 |
항목 | 단위 | 규격 | 항목 | 단위 | 규격 |
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N2O | ppm(v/v) | 99.999 이상 | HF | ppm(v/v) | 1.0 이하 |
O2 | ppm(v/v) | 5.0 이하 | H2O | ppm(v/v) | 1.0 이하 |
N2 | ppm(v/v) | 5.0 이하 | CO | ppm(v/v) | 5.0 이하 |
CF4 | ppm(v/v) | 40.0 이하 | SF6 | ppm(v/v) | 2.0 이하 |
N2O | ppm(v/v) | 5.0 이하 | CO2 | ppm(v/v) | 5.0 이하 |