사업분야신소재사업부

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사회적 책임을 다하고 지속가능한 성장과 발전을 추구하는 백광산업

삼불화질소(NF3)

제품특징

색깔과 냄새가 없는 비활성 기체이며 강한 독성을 가지고 있다. 반도체 및 디스플레이용으로 사용되는 고순도 가스이다.

적용용도
  • LCD, OLED 및 반도체 공정 장비 내 챔버 세정용으로 사용된다.
  • 실리콘 웨이프의 플라즈마 식각에 이용된다.
  • 산화제, 유기합성 원료로 사용된다.
  • 고 에너지 화학레이져 및 전기 산업 분야에서 불소원으로 사용된다.
출하형태

Tube Trailer, Bottle(47L)

제품물성
물질명 삼불화질소 (Nitrogen triflouride) 독성물질등록번호 QX1925000
분자식 NF3 유럽연합 번호 232-007-1
분자량 71 CCRIS 번호 해당자료 없음
일반명 삼불화질소 (Nitrogen triflouride) 유전독성 번호 해당자료 없음
CAS No. 7783-53-2 발암성 번호 해당자료 없음
제품규격
항목 단위 규격 항목 단위 규격
N2O ppm(v/v) 99.999 이상 HF ppm(v/v) 1.0 이하
O2 ppm(v/v) 5.0 이하 H2O ppm(v/v) 1.0 이하
N2 ppm(v/v) 5.0 이하 CO ppm(v/v) 5.0 이하
CF4 ppm(v/v) 40.0 이하 SF6 ppm(v/v) 2.0 이하
N2O ppm(v/v) 5.0 이하 CO2 ppm(v/v) 5.0 이하

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